财政部、海关总署、国家税务总局、信息产业部
关于线宽小于0.8微米(含)集成电路企业进口自用生产性
原材料、消耗品享受税收优惠政策的通知
（2004年10月10日 财关税[2004]45号）
海关总署广东分署，天津、上海特派办，各直属海关：
经国务院批准，对在中国境内设立的集成电路线宽小于0.8微米的集成电路生产企业进口国内无法生产的自用生产性原材料、消耗品，免征进口关税和进口环节增值税。现就有关问题通知如下：
一、符合条件的集成电路生产企业（名单见附件1）进口自用生产性原材料、消耗品属于《线宽小于0.8微米（含）集成电路企业免税进口自用生产性原材料、消耗品目录》（附件2，以下简称《目录》）内的，免征进口关税和进口环节增值税。
二、符合条件的集成电路生产企业进口自用生产性原材料、消耗品，企业所在地海关负责办理免税审批手续。经审核，进口原材料、消耗品属于《目录》内的，海关出具《进出口货物征免税证明》。如进口商品名称和税则归类与《目录》不一致的，以《目录》所列商品名称作为审批依据。
三、线宽小于0.8微米（含）集成电路生产企业进口自用生产性原材料、消耗品免税项目征免性质为：集成电路生产企业进口货物，简称：集成电路（代码：422）。
四、《目录》所列进口原材料、消耗品的范围和内容今后将根据国内配套产业的发展情况适时进行调整，由信息产业部会同国家发展改革委、财政部、商务部、海关总署、国家税务总局提出意见，报国务院审批。
五、集成电路线宽小于0.25微米或投资额超过80亿元的集成电路生产企业进口自用生产性原材料仍按《财政部关于部分集成电路生产企业进口自用生产性原材料、消耗品税收优惠政策的通知》（财税［2002］136号）和《海关总署关于集成电路生产企业进口自用生产性原材料等等享受税收优惠政策的通知》（署税发［2002］328号）执行。
六、上述政策自2004年10月1日起开始实施。
附件：1.第一批符合条件的集成电路生产企业名单
2.线宽小于0.8微米（含）集成电路企业免税进口自用生产性原材料、消耗品目录
附件1：
第一批符合条件的集成电路生产企业名单
一、无锡华润微电子有限公司
二、首钢日电电子有限公司
三、上海贝岭股份有限公司
四、上海先进半导体制造有限公司
五、杭州士兰微电子股份有限公司
附件2：
线宽小于0．8微米(含)集成电路企业
免税进口自用生产性原材料、消耗品目录
┌──┬────┬───────────────┬────┬──────────────┬──────────────┐
│序号│ 性质 │ 类别 │税则号列│ 品名 │ 英文品名(企业参考) │
├──┼────┼────┬──────────┼────┼──────────────┼──────────────┤
│1 │一、直接│树脂 │树脂 │39073000│塑封胶(环氧树脂) │RESIN/Molding │
│ │原材料 │ │ │ │ │Compound/CHIP COAT │
├──┤ │ ├──────────┼────┼──────────────┼──────────────┤
│2 │ │ │导电树脂 │38249090│导电胶(多种成份混合) │ │
├──┤ ├────┼──────────┼────┼──────────────┼──────────────┤
│3 │ │胶膜 │丙烯酸树脂类保护膜 │39191010│(硅片、光掩模、光罩)保护膜 │(UV/ICROS TAPE/PELLICLE │
│ │ │ │硅片正面保护膜 │ │(丙烯酸树脂制) │GALSS)TAPE │
├──┤ │ │剥离膜 ├────┼──────────────┼──────────────┤
│4 │ │ │ │39191010│贴膜／(UV感应及非感应背磨、 │UV&NON-UV CURABLE │
│ │ │ │ │ │晶背研磨)胶带／胶膜(丙烯酸树│BACKGRINDING TAPE │
│ │ │ │ │ │脂制) │ │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│5 │ │ │ │39191010│剥离膜／揭膜(塑料制成卷，宽 │ADHESIVE TAPE (plastic) │
│ │ │ │ │ │度＞20cm)(丙烯酸树脂制) │ │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│6 │ │ │ │39191010│剥离膜／揭膜(塑料制成卷，宽 │ADHESIVE TAPE (plastic) │
│ │ │ │ │ │度＜＝20cm)(丙烯酸树脂制) │ │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│7 │ │ │ │40169990│剥离膜／揭膜(橡胶制) │ADHESIVE TAPE (rubber) │
├──┤ ├────┼──────────┼────┼──────────────┼──────────────┤
│8 │ │硅片 │硅片／晶片(单晶硅切 │38180011│硅片／晶圆／参考片／假片／调│WAFER │
│ │ │ │片) │ │整片(单晶硅切片) │ │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│9 │ │ │ │38180019│硅片／晶圆／参考片／假片／调│WAFER │
│ │ │ │ │ │整片(单晶硅切片) │ │
├──┤ ├────┼──────────┼────┼──────────────┼──────────────┤
│10 │ │特殊气体│高纯度混合气体 │28121049│三氯化硼 │BORON TRICHLORIDE │
├──┤ │ │高纯度刻蚀气体 ├────┼──────────────┼──────────────┤
│11 │ │ │高纯度成膜气体 │28121049│三氟化氯 │CHLORINE TRIFLUORIDE │
├──┤ │ │其它高纯度特殊气体 ├────┼──────────────┼──────────────┤
│12 │ │ │ │28129000│三氟化硼 │BORON TRIFLUORIDE │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│13 │ │ │ │28121049│六氟化硫 │SULFUR HEXAFLUORIDE │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│14 │ │ │ │28129000│三氟化氮 │NITROGEN TRIFLUORIDE │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│15 │ │ │ │28141000│氨气 │AMMONIA │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│16 │ │ │ │28261900│六氟化钨 │TUNGSTEN HEXAFLUORIDE │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│17 │ │ │ │28500000│硅烷 │MONOSILANE │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│18 │ │ │ │38249090│硅烷氩气混合气 │SiH4／Ar │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│19 │ │ │ │38249090│硅烷氮气混合气 │SiH4／N2 │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│20 │ │ │ │38249090│硅烷氦气混合气 │SiH4／He │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│21 │ │ │ │29033090│三氟甲烷 │TRIFLUOROMETHANE │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│22 │ │ │ │29033090│二氟甲烷 │DIFLUORO METHANE │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│23 │ │ │ │29035900│八氟环丁烷(八氟化四碳) │OCTA-FLUOROCYCLOBUTANE │
│ │ │ │ │ │ │(C4F8) │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│24 │ │ │ │29035900│八氟环戊烯(八氟化五碳，八氟 │OCTA-FLUOROCYCLOPENTEN │
│ │ │ │ │ │环戊烷) │(C5F8) │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│25 │ │ │ │28042900│氪气 │KRYPTON │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│26 │ │ │ │28044000│氧气 │OXYGEN │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│27 │ │ │ │38249090│氧氩混合气 │O2／Ar │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│28 │ │ │ │28480000│磷烷 │PHOSPINE │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│29 │ │ │ │38249090│磷烷氮气混合气 │PHOSPINE／NITROGEN │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│30 │ │ │ │38249090│磷烷氢气混合气 │PHOSPINE／HYDROGEN │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│31 │ │ │ │28042900│氦气 │HELIUM │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│32 │ │ │ │28043000│氮气 │N2 │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│33 │ │ │ │28112100│二氧化碳 │CO2 │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│34 │ │ │ │28112900│一氧化二氮 │N2O │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│35 │ │ │ │28042100│氩气 │AR │
├──┤ │ ├──────────┼────┼──────────────┼──────────────┤
│36 │ │ │其它高纯度特殊气体 │38249090│甲烷、氩气混合气体 │METHANE/ARGON │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│37 │ │ │ │28499090│六碳化铬 │CrC6 │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│38 │ │ │ │38249090│铬蚀刻化学品 │CR-3ST CHROMIUM ETCHANT │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│39 │ │ │ │28121049│六氯化硅 │SiCl6 │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│40 │ │ │ │28500000│六氢化硅 │Si2H6 │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│41 │ │ │ │29310000│三甲基硅烷 │SiH(CH3)3 │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│42 │ │ │ │28500000│乙硼烷 │Diborane │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│43 │ │ │ │38249090│乙硼烷氢气混合气体 │Diborane/Hydrogen │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│44 │ │ │ │38249090│氟氮气混合气体 │Flourine/Nitrogen │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│45 │ │ │ │38249090│氦气氮气混合气体 │Helium/Nitrogen │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│46 │ │ │ │28061000│氯化氢 │Hydrogen Chloride │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│47 │ │ │ │28500000│三氯氢硅 │SiHCL3 │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│48 │ │ │ │28011000│氯气 │Cl2 │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│49 │ │ │ │28121049│四氟化硅 │Silion │
│ │ │ │ │ │ │Tetrafluoride(SiF4) │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│50 │ │ │ │28121049│四氯化硅 │SiCL4 │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│51 │ │ │ │28061000│氯化氢 │Halocarbon │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│52 │ │ │ │28129000│高纯度氟化硼 │BF3 │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│53 │ │ │ │2850000 │砷化氢 │Arsine │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│54 │ │ │ │38249090│氢气氮气混合气 │H2/N2 │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│55 │ │ │ │29033090│六氟乙烷 │C2F6 │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│56 │ │ │ │29033090│四氟甲烷 │CF4 │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│57 │ │ │ │38249090│四氟甲烷氧气混合气体 │CF4/O2 │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│58 │ │ │ │29033090│氟甲烷 │CH3F │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│59 │ │ │ │28111990│溴化氢 │HBR │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│60 │ │ │ │28500000│砷烷 │ASH3 │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│61 │ │ │ │38249090│砷烷氢气混合气体 │ASH3/H2 │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│62 │ │ │ │38249090│锗烷氢气混合气体 │GeH4/H2 │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│63 │ │ │ │28510090│二氯二氢硅 │ │
├──┤ ├────┼──────────┼────┼──────────────┼──────────────┤
│64 │ │光刻工艺│显影液 │37079090│显像液，显影液(光刻显像剂) │Developer， │
│ │ │用化学品│ │ │ │Tetramethyl Ammonium │
│ │ │ │ │ │ │Hydroxide Solution， │
│ │ │ │ │ │ │(Developer Series) │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│65 │ │ │光刻胶 │37071000│光刻胶(感光乳液) │Photoresist │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│66 │ │ │聚酰亚胺原液 │39119000│聚酰亚胺 │Sumiresin Excel │
│ │ │ │ │ │ │(HP/Photo sensitive │
│ │ │ │ │ │ │polymide) │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│67 │ │ │增粘剂 │29310000│双(三甲基硅)胺 │HexamethyldisilazaneOAP │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│68 │ │ │ │37013090│光刻工艺专用高等级感光胶片 │ │
├──┤ ├────┼──────────┼────┼──────────────┼──────────────┤
│69 │ │掺杂源 │固态掺杂源 │28047090│(高纯度)红磷 │High Purity Red │
│ │ │ │ │ │ │Phosphorus │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│70 │ │ │气态掺杂源 │28048000│(高纯度金属)砷 │ArsenicMetal │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│71 │ │ │液态掺杂源 │28129000│硼源(卤化硼) │ │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│72 │ │ │ │28129000│磷源(卤化磷) │phophorsilicate polymers and│
│ │ │ │ │ │ │organic solvents │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│73 │ │ │ │28129000│三溴化磷 │PBR3 │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│74 │ │ │ │28121020│磷酰氯(三氯氧磷) │Phosphorus Oxychloride │
├──┤ ├────┼──────────┼────┼──────────────┼──────────────┤
│75 │ │刻蚀液 │氟系刻蚀液 │28111100│氢氟酸 │HydrogenFluoride │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│76 │ │ │ │38249090│氢氟酸混合液／氧化物刻蚀缓冲│BOE/BUFFERED OXIDE ETCH │
├──┤ │ │ │ │剂 │ │
│77 │ │ │ │ │ │ │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│78 │ │ │ │29053100│乙二醇 │ETHYLENE GLYCOL │
├──┤ │ │ │ │ │ │
│79 │ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│ │ │ │ │38249090│乙二醇＋氟化胺 │EG＋NH4F │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│80 │ │ │ │29310000│六甲基乙硅烷 │HMDS/HD POLYIMIDE │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│81 │ │ │ │37071000│感光乳液 │ │
│ │ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
├──┤ │ │ │34021900│BTA／EDA化学品 │BTA，EP GRADE 1HBENJO │
│82 │ │ │ │ │ │TRIAJOLE 100G/BT │
│ │ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│ │ │ │ │29041000│甲烷磺酸(甲基磺酸) │METHANESULFONIC ACID │
├──┤ ├────┼──────────┼────┼──────────────┼──────────────┤
│83 │ │清洗液 │乙醇 │22071000│乙醇(纯度等级高于PPM) │Ethanol │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│84 │ │ │硫酸 │28070000│硫酸(纯度等级高于PPM) │Sulfuric Acid │
├──┤ │ ├──────────┼────┼──────────────┼──────────────┤
│85 │ │ │ │28061000│盐酸 │HCl │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│86 │ │ │硝酸 │28080000│硝酸(纯度等级高于PPM) │Nitric Acid │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│87 │ │ │磷酸 │28092010│磷酸(纯度等级高于PPM) │Phosphoric Acid │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│88 │ │ │氨水 │28142000│氨水(纯度等级高于PPM) │Super Pure Ammonium │
│ │ │ │ │ │ │HydroxideElm／NH3．H2O(AR) │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│89 │ │ │ │28470000│过氧化氢(双氧水)(纯度等级高 │HydrogenPeroxide │
│ │ │ │ │ │于PPM) │ │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│90 │ │ │过氧化氢 │29051220│异丙醇(纯度等级高于PPM) │IsopropylAlcohl │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│91 │ │ │异丙醇 │28152000│氢氧化钾(纯度等级高于PPM) │POTASSIUM HYDROXIDE │
│ │ │ │ │ │ │SOLUTICN │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│92 │ │ │盐酸 │28261900│氟化钾(纯度等级高于PPM) │POTASSIUM FLUORIDE KF │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│93 │ │ │ │38249090│混合酸(纯度等级高于PPM) │ │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│94 │ │ │高纯度混合酸 │38249090│硅片平面化液(SOG) │SOG │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│95 │ │ │ │28142000│氢氧化铵(纯度等级高于PPM) │AMMONIUM HYDROXIDE PPB │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│96 │ │ │ │38220090│钼酸盐试剂(纯度等级高于PPM) │MOLYBDATE 3 REAGENT │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│97 │ │ │ │34029000│清洗溶液(磺酸铵溶液)(纯度等 │WRS-200(surfactant) │
│ │ │ │ │ │级高于PPM) │ │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│98 │ │ │ │29141100│丙酮(纯度等级高于PPM) │Acetone │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│99 │ │ │ │29141200│丁酮(纯度等级高于PPM) │Butanone │
├──┤ ├────┼──────────┼────┼──────────────┼──────────────┤
│100 │ │电镀液 │电镀原液 │11081900│可溶性淀粉 │SOLUABLE STARCH │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│101 │ │ │ │38220090│铅标准溶液 │STANDARD LEAD CONC │
│ │ │ │ │ │ │100ML/B │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│102 │ │ │ │38220090│铜标准溶液 │STANDARD CUPPER CONC │
│ │ │ │ │ │ │100ML/BTL │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│103 │ │ │ │38220090│铁标准溶液 │SODIUM IRON CONE 100ML/BTL │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│104 │ │ │ │34029000│表面活性剂制品 │MODIFIER/72BC │
│ │ │ │ │ │ │ADDITIVE/BUFFERED ETCH │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│105 │ │ │ │38249090│NaOH、Na3PO4、Na2CO3混合液 │ENBOND CA-S │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│106 │ │ │ │38249090│PH调节剂 │PH ADJUSTOR │
├──┤ ├────┼──────────┼────┼──────────────┼──────────────┤
│107 │ │成膜专用│无机硅成膜剂 │29310000│四乙氧基硅烷＋氮气(氮气为保 │ │
│ │ │化学品 │ │ │护气) │ │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│108 │ │ │ │29153300│醋酸丁酯 │ │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│109 │ │ │ │29181100│乳酸乙酯 │Ethyl Lactate │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│110 │ │ │ │29310000│二甲基硅醇 │TRIMETHYLSILANOL │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│111 │ │ │ │29310000│四—二钾胺钛 │TDMAT，Tetrakisdimethylamine│
│ │ │ │ │ │ │Titanium │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│112 │ │ │ │29209090│硼酸三甲酯 │TMB │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│113 │ │ │ │29209011│亚磷酸三甲酯 │TMPI │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│114 │ │ │ │29310000│四氧乙基硅 │TEOS │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│115 │ │ │ │38249090│光罩蚀刻机清洗剂(无机酸混合 │AP/Mineral Acid │
│ │ │ │ │ │物) │ │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│116 │ │ │ │34029000│表面活性剂制品 │TK │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│117 │ │ │ │29310000│三乙基硼烷 │TEB │
├──┤ ├────┼──────────┼────┼──────────────┼──────────────┤
│118 │ │掩膜版 │掩膜版 │70200019│光刻版／掩膜版 │EXPOSED & DEVELOPED │
│ │ │ │ │ │ │PHOTO MASK │
├──┤ ├────┼──────────┼────┼──────────────┼──────────────┤
│119 │ │靶材 │靶材 │74199990│铜靶材(＞99．9％) │Ultra High Purity │
│ │ │ │ │ │ │Sputterring Target │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│120 │ │ │ │76169990│铝靶材(＞99．9％) │Ultra High Purity │
│ │ │ │ │ │ │Sputterring Target │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│121 │ │ │ │81019900│钨金属靶(＞99％) │Target(tungsten) │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│122 │ │ │ │76169990│铝—铜靶(Al＋Cu＞99．9％) │TARGET Al-Cu │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│123 │ │ │ │76169990│铝—硅靶(Al＋Si＞99．9％) │TARGET Al-Si │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│124 │ │ │ │76169990│铝—硅—铜靶(Al＋Si＋Cu │TARGET Al-Si-Cu │
│ │ │ │ │ │＞98％) │ │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│125 │ │ │ │81059000│钴靶(＞99％) │TARGET Co │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│126 │ │ │ │75089090│镍靶(＞99％) │TARGET Ni │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│127 │ │ │ │81039000│钽靶(＞99％) │TARGET Ta │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│128 │ │ │ │81089090│钛靶(Ti＞99％) │TARGET TI │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│129 │ │ │ │71159010│铂靶(Pt＞99％) │target Pt │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│130 │ │ │ │81122900│铬粒(Cr＞99％) │Cr slug │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│131 │ │ │ │81019900│钨硅靶(W＋SI＞99％) │TARGET WSI │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│132 │ │ │ │38180090│硅靶(SI＞99％) │TARGET SI │
├──┤ ├────┼──────────┼────┼──────────────┼──────────────┤
│133 │ │引线框架│引线框架 │85429000│引线框架、支架 │LEAD FRAME │
├──┤ ├────┼──────────┼────┼──────────────┼──────────────┤
│134 │ │银浆 │银浆 │28431000│银浆 │AG PASTE │
├──┼────┼────┼──────────┼────┼──────────────┼──────────────┤
│135 │二、间接│O型圈 │O型圈 │40169910│O型圈(橡胶制) │O ring │
├──┤生产材料├────┼──────────┼────┼──────────────┼──────────────┤
│136 │ │组装专用│组装专用吸头 │39269010│真空吸杆／头(塑料制) │Vaccum Pick-up System │
│ │ │吸头 │ │ │ │ │
├──┤ ├────┼──────────┼────┼──────────────┼──────────────┤
│137 │ │承载托盘│承载托盘 │39269090│承载带／覆盖带／托盘(常温、 │CARRIER TAPE/TRAY │
│ │ │ │ │ │高温)(塑料制) │ │
├──┤ ├────┼──────────┼────┼──────────────┼──────────────┤
│138 │ │研磨垫子│研磨垫子 │68042290│研磨垫子 │Polishing Pad/Backing Pad │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│139 │ │ │ │68042100│化学机械研磨钻石盘 │Diamond Disks for CMP │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│140 │ │ │ │39269010│化学机械研磨胶垫中间软垫(塑 │insert film(plastic) │
│ │ │ │ │ │料) │ │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│141 │ │ │ │40169310│化学机械研磨胶垫中间软垫(橡 │insert film(rubber) │
│ │ │ │ │ │胶) │ │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│142 │ │ │ │39269010│化学机械研磨头内垫(橡胶制) │membrance │
├──┤ ├────┼──────────┼────┼──────────────┼──────────────┤
│143 │ │防静电专│防静电专用内包装材料│39191099│防(抗)静电胶带 │ANTI-ACID TAPE │
│ │ │用内包装│ │ │ │ │
│ │ │材料 │ │ │ │ │
├──┤ ├────┼──────────┼────┼──────────────┼──────────────┤
│144 │ │生产线产│ │39209990│高温(低温)隔离带 │HIGH TEMP SEPERATOR │
│ │ │品传输用│ │ │ │ │
│ │ │品 │ │ │ │ │
├──┤ ├────┼──────────┼────┼──────────────┼──────────────┤
│145 │ │硅片清洗│ │96035091│化学机械研磨胶垫处理刷子 │PVA BRUSH │
│ │ │专用刷 │ │ │ │ │
├──┤ ├────┼──────────┼────┼──────────────┼──────────────┤
│146 │ │分析用试│分析用试剂 │28131000│二硫化碳 │CARBON DISULFIDE │
├──┤ │剂 │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│147 │ │ │ │38220090│柠檬酸试剂 │CITRIC ACID REAGENT │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│148 │ │ │ │29221100│单乙醇胺 │MONO ETHANOLAMINE │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│149 │ │ │ │38220090│氨基酸试剂 │AMINO ACID REAGENT │
├──┤ ├────┼──────────┼────┼──────────────┼──────────────┤
│150 │ │交换树脂│交换树脂 │39140000│离子交换树脂 │ │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│151 │ │ │ │63079000│过滤袋(纺织材料制) │FITLER BAGS │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│152 │ │ │ │39232900│阳极袋(PVC) │ANODE BAGS l8*2*1．5 │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│153 │ │ │ │39209990│反渗透膜 │RO membrance for clean room │
├──┤ ├────┼──────────┼────┼──────────────┼──────────────┤
│154 │ │过滤材料│过滤芯 │84219990│过滤芯(液体、气体) │FILTER │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│155 │ │ │ │84219990│其他过滤芯 │FILTER │
├──┤ ├────┼──────────┼────┼──────────────┼──────────────┤
│156 │ │高分子材│脱模剂 │34039900│脱模剂 │MOLD WAX RELEASE 909C │
│ │ │料 │ │ │ │ │
├──┤ ├────┼──────────┼────┼──────────────┼──────────────┤
│157 │ │石英制品│ │70200019│石英制品(管、舟、腔) │Quartz ware │
├──┤ │ │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│158 │ │ │ │39231000│硅片架／盒 │wafer cassette/carrier/box │
├──┤ ├────┼──────────┼────┼──────────────┼──────────────┤
│159 │ │生产线产│ │84283990│晶片传送器 │TRANSFER，HORIZONTAL， │
│ │ │品传输用│ │ │ │WAFER，AUTOMATIC │
│ │ │品 │ │ │ │ │
├──┤ ├────┼──────────┼────┼──────────────┼──────────────┤
│160 │ │电极 │ │84669300│电极 │electrode │
├──┤ ├────┤ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│161 │ │光罩盒 │ │39269090│光罩盒 │Reticle/Mask POD │
├──┤ ├────┼──────────┼────┼──────────────┼──────────────┤
│162 │ │探针／探│ │84799090│探针卡／探针 │prober card │
├──┤ │针卡 │ ├────┼──────────────┼──────────────┤
│163 │ │ │ │85444990│探针连接线 │prober card cable │
├──┤ ├────┼──────────┼────┼──────────────┼──────────────┤
│164 │ │探针卡清│ │68052000│(探针卡／针尖)清洗片 │ │
│ │ │洗片／针│ │ │ │ │
│ │ │尖清洗片│ │ │ │ │
├──┤ ├────┼──────────┼────┼──────────────┼──────────────┤
│165 │ │洁净室清│Class 100及以下洁净 │39199090│洁净室专用薄膜(有粘性) │BLUE TACKY MAT │
├──┤ │洁用品 │室清洁用品 ├────┼──────────────┼──────────────┤
│166 │ │ │ │39204300│洁净室专用PVC薄膜(无粘性) │Plastic sbeets │
├──┤ ├────┼──────────┼────┼──────────────┼──────────────┤
│167 │ │洁净室专│Class 100及以下洁净 │85392999│专用离子回流灯 │ │
├──┤ │用灯管 │室专用灯管 ├────┼──────────────┼──────────────┤
│168 │ │ │ │85393290│专用灯(氙灯、汞灯、卤素灯、 │dedicated lamp │
│ │ │ │ │ │卤钨灯) │ │
├──┤ ├────┼──────────┼────┼──────────────┼──────────────┤
│169 │ │ │ │85393990│专用黄灯管 │Fluoresent Lamp │
├──┤ ├────┼──────────┼────┼──────────────┼──────────────┤
│170 │ │ │ │85394900│专用紫外线灯、专用UV灯 │ │
└──┴────┴────┴──────────┴────┴──────────────┴──────────────┘
